浅析影响薄膜厚薄均匀性的因素

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浅析影响薄膜厚薄均匀性的因素

更新时间：2024-09-14

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- 浅析影响薄膜厚薄均匀性的因素
- POWER CAPACITOR & REACTIVE POWER COMPENSATION Issue 4, Pages: 17-18(1999)
- 作者机构：
  
  铜陵铜峰电子集团公司,安徽,244000
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC： TM53
- Published：1999，
- 稿件说明：
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[1]束长青.浅析影响薄膜厚薄均匀性的因素[J].电力电容器,1999(04):17-18.

浅析影响薄膜厚薄均匀性的因素. [J]. Power capacitor & reactive power compensation, 1999, (4): 17-18.
[1]束长青.浅析影响薄膜厚薄均匀性的因素[J].电力电容器,1999(04):17-18. DOI：

浅析影响薄膜厚薄均匀性的因素. [J]. Power capacitor & reactive power compensation, 1999, (4): 17-18. DOI：

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