低能量X-RAY测厚仪与β-RAY测厚仪在薄膜生产中的应用比较

刘伟

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低能量X-RAY测厚仪与β-RAY测厚仪在薄膜生产中的应用比较

更新时间：2024-09-14

- 低能量X-RAY测厚仪与β-RAY测厚仪在薄膜生产中的应用比较
- Comparison of Low-Energy X-RAY Thickness Measuring Device and β-RAY Thickness Measuring Device Applied to Film Manufacture
- 电力电容器与无功补偿 2001年第3期页码：36-38
- 作者机构：
  
  安徽铜峰电子股份有限公司,安徽,铜陵,244000
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TP274
- 纸质出版日期：2001，
- 稿件说明：
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[1]刘伟.低能量X-RAY测厚仪与β-RAY测厚仪在薄膜生产中的应用比较[J].电力电容器,2001,{4}(03):36-38.

LIU WEI. Comparison of Low-Energy X-RAY Thickness Measuring Device and β-RAY Thickness Measuring Device Applied to Film Manufacture. [J]. Power capacitor & reactive power compensation, 2001, (3): 36-38.
[1]刘伟.低能量X-RAY测厚仪与β-RAY测厚仪在薄膜生产中的应用比较[J].电力电容器,2001,{4}(03):36-38. DOI：

LIU WEI. Comparison of Low-Energy X-RAY Thickness Measuring Device and β-RAY Thickness Measuring Device Applied to Film Manufacture. [J]. Power capacitor & reactive power compensation, 2001, (3): 36-38. DOI：

摘要

分析比较了低能量 X- RAY和β- RAY两种测厚仪在薄膜生产测量中的差别。指出低能量 X- RAY测厚仪将逐渐替代 β- RAY测厚仪

成为今后薄膜厚度测量的主流机型。

Abstract

Difference between low energy X RAY thickness measuring device and β RAY thickness measuring device used in film manufacture is analysed. It is pointed out that the low energy X RAY device will gradually replace the β RAY one

and become an essential model for film thickness measurement in years to come.

关键词

测厚仪薄膜应用比较

Keywords

Thickness measuring devicefilm\ ApplicationComparison

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